Реферат Пояснювальна записка до дипломної роботи містить: 61 сторінку, 20





Дата конвертації11.03.2017
Розмір5.88 Kb.

Реферат

Пояснювальна записка до дипломної роботи містить: 61 сторінку, 20 рисунків, 25 бібліографічних посилань
В дипломній роботі розглянуті наявні на сьогоднішній день методики літографії. Проаналізовані їх переваги та недоліки. Розглянуто принципи реалізації та переваги методик зондової літографії. Здійснено реалізацію механічної зондової літографії (наногравіювання) та літографії методом локального анодного окислення із використанням засобів атомно- силового мікроскопу. Описано механізми взаємодії вістря зонду атомно- силового мікроскопу із поверхнею, на яку здійснюється вплив. Проведено аналіз отриманих практичних даних. Здійснено програмну корекцію спотворень шаблонів, що наносяться, які спричинені апаратурними ефектами. Зроблено висновки про можливість застосування досліджених методик зондової літографії в різних галузях сучасних наукових досліджень та виробництва.
Ключові слова: скануючий зондовий мікроскоп, атомно-силовий мікроскоп, зондова літографія, нанолітографія, наногравіювання, анодно- окислювальна літографія.




База даних захищена авторським правом ©chito.in.ua 2017
звернутися до адміністрації

войти | регистрация
    Головна сторінка


загрузить материал